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真空系統中壓力和真空度測量和控制的基本概念

發布時間 : 2021-03-01

摘要：本文詳細介紹了真空系統中壓力和真空度測量和控制的基本概念已經常用的技術指標，詳細介紹了模／數轉換精度應壓力和真空度測量分辨率的匹配，介紹了采用不同量程電容壓力計進行真空度控制的最小建議范圍。